En esta técnica, se coloca una muestra delgada del material
en un acelerador de partıculas y se bombardea con protones,
partıculas 
o iones pesados. La interacción produce
ionización de los átomos del blanco, que emiten sus rayos X
caracterısticos. Como la energıa de los rayos X depende del
número atómico 
del material, observando los rayos X
emitidos podemos identificar los diversos elementos que componen
el material. A partir de la intensidad de los rayos
X se puede determinar la proporción relativa de los
distintos elementos en la muestra.
Mediante esta técnica se pueden detectar cantidades del
orden de 
g de material, lo que la hace comparable al
NAA en cuanto a sensibilidad.
